半導體設備用 鐵氟龍閥件

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純水&藥液用氣動閥

NEW SAV series
純水&藥液用氣動閥

氣動閥是因空氣壓驅動部(氣缸)作動之閥門,利用空氣來控制閥門之開關(ON‧OFF)。
流體:純水‧腐蝕性流體
流體壓力:A→B:0~0.5MPa,B→A: 0~0.5MPa。
流體溫度:10~100℃
使用環境溫度:10~60℃
操作空氣壓力:0.38~0.5MPa

【高溫規格】
流體壓力:A→B:0~0.3MPa,B→A: 0~0.3MPa。
流體溫度:10~200℃
使用環境溫度:10~80℃

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