半導體設備用 鐵氟龍閥件

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HICV series
調壓閥

對於第一次測壓力變動,可以穩定控制二次測壓力的高精度流體用壓力控制閥。二次測壓力可以通過操作空氣壓力進行設定。
流體:純水‧腐蝕性流體
流體壓力:IN:0~0.5MPa,OUT:0~0.5MPa
流體溫度:10~90℃
使用環境溫度:0~40℃
操作空氣壓力:0.1~0.3MPa

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